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P73.Z200大行程壓電物鏡定位器

更新時間: 2020-11-30

P73.Z200為大行程壓電物鏡定位器,Z軸直線運動范圍可達(dá)200μm采用柔性鉸鏈設(shè)計機構(gòu),無摩擦、運動直線性好且閉環(huán)型號定位精度高。分離式螺紋適配器設(shè)計,可適配多種型號的顯微鏡,廣泛應(yīng)用于大范圍顯微成像、雙光子顯微鏡等領(lǐng)域。

典型應(yīng)用

• 三維成像

 干涉/計量

 表面結(jié)構(gòu)分析

 共焦顯微

高穩(wěn)定性、長使用壽命

P73.Z200壓電物鏡定位器體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊、性價比高,可以與市面上很多規(guī)格型號的顯微物鏡配套。物鏡定位器內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,與優(yōu)異的機械結(jié)構(gòu)相結(jié)合,具有穩(wěn)定性好、使用壽命長等優(yōu)點。

應(yīng)用分析實例

技術(shù)參數(shù)

型號P73.Z200

運動自由度Z

行程范圍(0~120V)160μm

行程范圍(0~150V)200μm

閉環(huán)傳感器類型SGS

閉/開環(huán)分辨率11/5nm

閉環(huán)線性度0.1%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度0.05%F.S.

推/拉力80/10N

運動方向剛度0.25N/μm

空載諧振頻率210Hz

閉/開環(huán)空載階躍時間20/10ms

承載能力0.2kg

靜電容量7.2μF

材質(zhì)鋼、鋁

重量360g

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